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半导体行业—洁净室气态分子污染物解决方案

发布日期:2020-08-19 11:07
信息摘要:
对于半导体制造行业,在制造过程中,高端电气部件非常容易受到污染。即使是非常少的污染也会导致在接触周边空气时产生腐蚀和氧化。实际上,计算机部件受到的威胁比人类更大,...
随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级,相应的产品对半导体产品生产环境的要求越来越高,因此半导体洁净室内AMC的控制标准也提高了很多。
1、洁净室新风控制:在MAU内加装化学过滤器,控制室外新风中的化学污染物;
2、洁净室循环风控制:在FFU上方加装化学过滤器,控制整个洁净室内部的气态化学污染物;
3、洁净室机台控制:在生产机台上方加装化学过滤器,机台内部空间超洁净度的气态污染物控制。
半导体行业—洁净室气态分子污染物解决方案
 
编号 应用场地 可选装置 功能
新风入口处 侧开式净化机组 去除外部环境进入洁净室的AMC
空调机组内 CCST化学过滤器 去除外部环境和回风进入洁净室的AMC
FFU处 CCST化学过滤器 去除送风过程进入洁净室的AMC
洁净室内 内循环净化装置 去除洁净室内产生的AMC
回风段 CCST化学过滤器/侧开式净化机组 去除洁净室回风段含有的AMC

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关键词: 半导体工业

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