杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

 

　　杭州中欣晶圆半导体股份有限公司成立于2017年，坐落在杭州市钱塘区大江东产业集聚区，主要从事高品质集成电路用半导体晶圆片的研发与生产制造。实现了从半导体单晶硅棒拉制到100mm~300mm半导体晶圆片加工的完整生产。拥有9条8英寸生产线、2条技术成熟的12英寸生产线，具备年产能240万片/300mm、480万片/200mm、480万片/150mm。

 

　　

 

　　半导体生产车间对空气洁净技术提出了高要求，以确保产品生产良率达到99.99%。

 

　　解决方案

　　Solutions

 

　　华净科技气态污染物AMC空气过滤解决方案

 

　　面对中欣晶圆对空气洁净度的要求，华净科技通过采样、现场勘测、技术诊断，确认气态污染物主要成分及浓度，有针对性的提出了最优的解决方案 - 气态污染物AMC空气过滤解决方案。在保证能耗降低的同时，达到了最佳过滤效率。

 

　　其中选用了除酸化学过滤器、除碱化学过滤器等平板型气相过滤器。

 

　　并在发货前对过滤器进行了性能检测。

 

　　

 

　　FFU气相过滤器现场安装示意图

 

　　平板型气相过滤器是一种高效去除空气中颗粒和气态分子污染物的复合式过滤器，广泛应用在AMC污染腐蚀控制工程中，主要搭配风机过滤机组（FFU）使用，也可作为送风口或回风口的化学过滤组件，复合式的结构设计使滤材充分发挥过滤功能，根据现场环境的AMC种类和浓度，定制化设计过滤材料和框架材料，让空气更洁净。

 

　　

 

　　平板型气相过滤器

 

　　产品优势：

 

　　① 使用方便，安装维护简单；

 

　　② 高效过率，针对不同污染物定制配方；

 

　　③ 低阻力，无递增压损，节能环保；

 

　　④ 无灰尘释放，具有一定的粉尘过滤效果；

 

　　⑤ 使用寿命长，通过化学吸附法去除气态污染物，气态污染物与滤料发生化学反应，有效杜绝空气环境的二次污染，永久去除气态污染物。

 

　　华净科技化学过滤器检测平台专门针对化学过滤器过滤性能的检测，通过模拟受控污染环境内过滤器过滤装置，检测过滤器在不同污染物浓度环境下过滤效率、压阻、容污量、持久性等性能的变化，帮助企业设计开发出高效改善环境空气质量的过滤产品。符合标准：ISO10121-2、T/CRAA438.2

 

　　

 

　　华净科技气相过滤器全尺寸检测台

 

　　

 

　　经检测合格的气相过滤器